300×300ステージ

弊社で三次元測定機導入後初のステージになります。
試しに導入前と同じ検査方法で検査後、三次元測定機で測定してみました。
すると、許容交差は満たしていたものの誤差があり、少し納得の行かない数字が・・・！

なんか気持ち悪いので再研磨。平面度10μmを実現しました！

これまでいいと思っていたものの中にも、「思ってるほど良くない」というものが混じっていたのかな？
そう考えさせられた思い出深い一品です。

あ、写真は予備として作ったもので、研磨はしていないので、表面はちょっとアレです。。